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晶圆载物台
2022.08.19
我们的晶圆载物台程序可实现纳米范围内的高精度运动控制。因此,它十分适用于质量控制阶段的晶圆对齐、定位和测试。精密运动控制系统 MPC 保证了 1 - 5 nm 分辨率的高精度,以及 ≥50 nm/s 的缓慢匀速运动。专用伺服电机以及无铁线性和扭矩马达可提高动态性能。高精度线性导轨可消除振动。增加的气动子系统使自动化包更加完整。高阶运动曲线和样条函数可产生更平滑的运动序列。